第1061章 什么是浸液系统-《重生迈步从头越》


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    “我们都亲身经历了这次制作157nm,也发现很多问题。这次的有些改造能满足157nm的,但肯定不能满足更低波长的,所以我们下一步的任务很艰巨。”

    刘芷菲偏头在龙建华耳边轻声说,“筠研张嘴就是一套套的专业名词,显得高深莫测。”

    龙建华轻轻一笑,“你跑到人家专业团队里来,能听懂几个就很不错了。”

    她轻哼一声,又坐正边吃边听各人的发言……

    157nm芯片的推出,虽然无论研究院还是集团都没对外宣传,但还是有小道消息传出,马上引发业界震惊。

    因为目前采用都是arf    准分子激光,其波长是193    nm,大家在这个阶段停留的时间已经很久了;忽然之间出现157nm,等于突破了这一关口,意味着相关技术都取得了突破。

    这个消息,让一大片人震惊,也让一大片人激动,更让一些人感觉有点酸,还让一些人很恼火。

    有媒体来预约采访,可得到的答复要等十天,因为研究团队现在很忙。

    他们当然很忙。

    这里要申请专利,今后的思路也有可以申请专利的,也要组织编写。

    还要对未来的研究还要讨论。那晚吃完饭后,整个团队放假三天,这三天不是没任务的,而是只有支配时间,但三天后要进行接下来的项目讨论。

    这一讨论就是三天……

    这三天中,有人猜测,重世研究院一定是采用了f2准分子激光,这种激光器的波长更短。不过他们也很疑惑,这种激光器刚刚发明不久,相对arf    准分子激光而言,光刻困难、成本高、而且易损坏,在抗蚀剂、高精度对准方面还有许多问题尚未解决。
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